| 查看: 2286 | 回复: 11 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
【求助】MPCVD等离子体熄灭问题 已有4人参与
|
|||
| 这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且等离子体很昏暗，没有以前那么亮，一不留神就灭。实在想不通，苦恼，求达人指点！ |
回复此楼» 猜你喜欢
339求调剂
已经有8人回复
-
085600 286分 材料求调剂
已经有7人回复
-
0856，材料与化工321分求调剂
已经有12人回复
-
一志愿南京航空航天大学材料学硕求调剂
已经有3人回复
-
283求调剂
已经有5人回复
-
一志愿哈尔滨工业大学材料与化工方向336分
已经有7人回复
-
数一英一271专硕（085401）求调剂，可跨
已经有4人回复
-
0703化学求调剂
已经有8人回复
-
277跪求调剂
已经有9人回复
-
材料277求调剂
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求低温等离子体电子密度测量方法
已经有14人回复
- 秋水仙素和ORYZALIA诱变西瓜四倍体有什么区别？
已经有3人回复
- 变温粉末表征中峰在不同温度下出现峰的强弱是什么原因
已经有3人回复
- 关于等离子体共振能量吸收的问题
已经有7人回复
- 等离子刻蚀后的废气
已经有3人回复
- 有关金属的表面等离子体共振峰（SPR）的问题，
已经有9人回复
- 【求助】一个关于等离子体产生的问题
已经有14人回复
- 请教 牛人赐教 关于过饱和度问题
已经有11人回复
9楼2010-12-13 17:01:15
2楼2010-12-10 13:46:49
wudong863
金虫 (小有名气)
Coatingtech
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1535.1
- 散金: 7
- 帖子: 279
- 在线: 89.4小时
- 虫号: 261831
- 注册: 2006-06-24
- 性别: GG
- 专业: 粘合剂
3楼2010-12-10 13:53:36
love_nole
铁虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3575.6
- 红花: 1
- 帖子: 82
- 在线: 724.8小时
- 虫号: 1161109
- 注册: 2010-12-02
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性I:结构、力学和
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+10):3q 2010-12-12 09:29:28
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+10):3q 2010-12-12 09:29:28
|
一般MPCVD的主导气体是氢气，你要是加甲烷的时候也要保证氢气的流量。因为产生辉光的能量不同（C-H ，H-H键能显然差别很大），所以CH4是不适合做主导气体的，在CH4/H2在生长石墨相的时候也就在20%，而且压强越高等离子体越容易熄灭，同时高压强会导致等离子体球的大幅度缩小，不过对高速同质外延生长金刚石是很有帮助的，还是要具体看你要做什么。你用的是MWCVD还是HFCVD？ [ Last edited by love_nole on 2010-12-11 at 01:26 ] |
4楼2010-12-11 01:24:39
