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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题
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allml100

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题 已有4人参与

这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且等离子体很昏暗，没有以前那么亮，一不留神就灭。实在想不通，苦恼，求达人指点！
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1楼 2010-12-08 15:36:16
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allml100

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by love_nole at 2010-12-13 14:06:13:

听你的描述感觉你是在微波等离子体中做的，你想要在高浓度CH4(>20%)并有H2等离子体的条件下长石墨又想让等离子稳定基本实现不了，你可以尝试加Ar等来部分取代H，但是Ar气的起辉条件比H2更难。我曾经尝试过用 ...

嗯，是在微波等离子体中做的。我现在想通过调节微波的耦合来试试能不能让等离子体稳定些...
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9楼2010-12-13 17:01:15
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allml100

新虫 (初入文坛)
木有人知道吗？
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2楼2010-12-10 13:46:49
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
★ ★ ★ ★
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小木虫:)(金币+3):3q 2010-12-12 09:29:45
甲烷比较稳定吧。你的微波源是多少功率，频率的？
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材料分析测试技术群：101717240。
3楼2010-12-10 13:53:36
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love_nole

铁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+10):3q 2010-12-12 09:29:28
引用回帖:
Originally posted by allml100 at 2010-12-08 15:36:16:
这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且 ...

一般MPCVD的主导气体是氢气，你要是加甲烷的时候也要保证氢气的流量。因为产生辉光的能量不同（C-H ，H-H键能显然差别很大），所以CH4是不适合做主导气体的，在CH4/H2在生长石墨相的时候也就在20%，而且压强越高等离子体越容易熄灭，同时高压强会导致等离子体球的大幅度缩小，不过对高速同质外延生长金刚石是很有帮助的，还是要具体看你要做什么。你用的是MWCVD还是HFCVD？

[ Last edited by love_nole on 2010-12-11 at 01:26 ]
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Just have a little faith.
4楼2010-12-11 01:24:39
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