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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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allml100

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题 已有4人参与

这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且等离子体很昏暗，没有以前那么亮，一不留神就灭。实在想不通，苦恼，求达人指点！
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1楼 2010-12-08 15:36:16
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love_nole

铁虫 (小有名气)
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引用回帖:
Originally posted by allml100 at 2010-12-13 10:50:39:



楼上牛人啊！前面说了长石墨可以不用H等离子体，但是CH4又不适合做主导气体，我只想知道怎么样才能让等离子稳定些？

听你的描述感觉你是在微波等离子体中做的，你想要在高浓度CH4(>20%)并有H2等离子体的条件下长石墨又想让等离子稳定基本实现不了，你可以尝试加Ar等来部分取代H，但是Ar气的起辉条件比H2更难。我曾经尝试过用微波法Ar做主导气体，辉光不仅不稳定，而且是环状辉光，根本无法将辉光集中到样品台上，至于灯丝法Ar做主导气体我没有尝试过，你可以自己摸索一下你们实验室仪器氩气起辉和保证辉光形状良好并稳定的条件。
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Just have a little faith.
8楼2010-12-13 14:06:13
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allml100

新虫 (初入文坛)
木有人知道吗？
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2楼2010-12-10 13:46:49
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
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小木虫:)(金币+3):3q 2010-12-12 09:29:45
甲烷比较稳定吧。你的微波源是多少功率，频率的？
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材料分析测试技术群：101717240。
3楼2010-12-10 13:53:36
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love_nole

铁虫 (小有名气)
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小木虫:)(金币+10):3q 2010-12-12 09:29:28
引用回帖:
Originally posted by allml100 at 2010-12-08 15:36:16:
这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且 ...

一般MPCVD的主导气体是氢气，你要是加甲烷的时候也要保证氢气的流量。因为产生辉光的能量不同（C-H ，H-H键能显然差别很大），所以CH4是不适合做主导气体的，在CH4/H2在生长石墨相的时候也就在20%，而且压强越高等离子体越容易熄灭，同时高压强会导致等离子体球的大幅度缩小，不过对高速同质外延生长金刚石是很有帮助的，还是要具体看你要做什么。你用的是MWCVD还是HFCVD？

[ Last edited by love_nole on 2010-12-11 at 01:26 ]
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Just have a little faith.
4楼2010-12-11 01:24:39
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