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【求助】MPCVD等离子体熄灭问题已有4人参与
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| 这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且等离子体很昏暗，没有以前那么亮，一不留神就灭。实在想不通，苦恼，求达人指点！ |
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7楼2010-12-13 10:50:39
2楼2010-12-10 13:46:49
wudong863
金虫 (小有名气)
Coatingtech
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3楼2010-12-10 13:53:36
love_nole
铁虫 (小有名气)
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+10):3q 2010-12-12 09:29:28
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小木虫:)(金币+10):3q 2010-12-12 09:29:28
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一般MPCVD的主导气体是氢气，你要是加甲烷的时候也要保证氢气的流量。因为产生辉光的能量不同（C-H ，H-H键能显然差别很大），所以CH4是不适合做主导气体的，在CH4/H2在生长石墨相的时候也就在20%，而且压强越高等离子体越容易熄灭，同时高压强会导致等离子体球的大幅度缩小，不过对高速同质外延生长金刚石是很有帮助的，还是要具体看你要做什么。你用的是MWCVD还是HFCVD？ [ Last edited by love_nole on 2010-12-11 at 01:26 ] |
4楼2010-12-11 01:24:39