应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题
51/1返回列表
查看: 2096  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

allml100

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题 已有4人参与

这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且等离子体很昏暗，没有以前那么亮，一不留神就灭。实在想不通，苦恼，求达人指点！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-12-08 15:36:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-12-12 09:29:45
甲烷比较稳定吧。你的微波源是多少功率，频率的？
赞一下(2人) 回复此楼
材料分析测试技术群：101717240。
3楼2010-12-10 13:53:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

allml100

新虫 (初入文坛)
木有人知道吗？
回复此楼
2楼2010-12-10 13:46:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

love_nole

铁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+10):3q 2010-12-12 09:29:28
引用回帖:
Originally posted by allml100 at 2010-12-08 15:36:16:
这几天做实验发现：反应气源中加入甲烷以后，等离子体非常容易熄灭。特别是甲烷流量大时，工作气压大于2kPa时，等离子体就会熄灭。以前不通甲烷的时候工作气压5，6kPa都是OK的。现在反应气压只能在1kPa左右，而且 ...

一般MPCVD的主导气体是氢气，你要是加甲烷的时候也要保证氢气的流量。因为产生辉光的能量不同（C-H ，H-H键能显然差别很大），所以CH4是不适合做主导气体的，在CH4/H2在生长石墨相的时候也就在20%，而且压强越高等离子体越容易熄灭，同时高压强会导致等离子体球的大幅度缩小，不过对高速同质外延生长金刚石是很有帮助的，还是要具体看你要做什么。你用的是MWCVD还是HFCVD？

[ Last edited by love_nole on 2010-12-11 at 01:26 ]
赞一下(2人) 回复此楼
Just have a little faith.
4楼2010-12-11 01:24:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

allml100

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by love_nole at 2010-12-11 01:24:39:



一般MPCVD的主导气体是氢气，你要是加甲烷的时候也要保证氢气的流量。因为产生辉光的能量不同（C-H ，H-H键能显然差别很大），所以CH4是不适合做主导气体的，在CH4/H2在生长石墨相的时候也就在20%，而且压强 ...

可是要长石墨，必须保证比较高的碳氢比，我现在气压过了2kPa等离子体就会灭...我想问问可不可以通点氦气或氩气让等离子体稳定些?
赞一下 回复此楼
5楼2010-12-12 16:31:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭