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金虫 (初入文坛)

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[交流] 【求助】本征硅薄膜电极制备

大家好，麻烦问一下，本征硅薄膜怎么制作电极？用什么金属，什么工艺？随着晶化率的不同，用的材料和工艺通用吗？请懂得的大虾们详细的告诉小弟一下，谢谢了！

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1楼2010-11-15 10:58:43

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金虫 (初入文坛)

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谢谢你们，呵呵，请问一下有什么方法能判断本征薄膜上的电极是不是欧姆接触吗？我试过在薄膜表面做两个电极，测I-V，由于本征薄膜电阻率太大，测量出的电流太小（-10量级），即使屏蔽了也不稳定，无法从I-V是否是直线来判断啊，大家知道有什么方法判断吗？或者有知道用什么金属肯定能和本征硅薄膜形成欧姆接触的吗？还有，我如果在p型单晶硅上长本征薄膜，之后上下做电极，是否测得的电流要比在玻璃上长的硅薄膜的一面做两个电极测量的电流要大几个量级（载流子在本征薄膜中走的路程要短吧）？麻烦各位大牛知道的告诉小弟啊，感激不尽！