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power1

金虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】本征硅薄膜电极制备

大家好,麻烦问一下,本征硅薄膜怎么制作电极?用什么金属,什么工艺?随着晶化率的不同,用的材料和工艺通用吗?请懂得的大虾们详细的告诉小弟一下,谢谢了!
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power1

金虫 (初入文坛)


呵呵,做电极怎么能测晶化率呢,测晶化率可以用拉曼,我只是想在本征硅薄膜上做电极啊,7楼的哥们,问一下,要是银浆可以的话用磁控溅射溅射一层银薄膜,之后退火可以吗?Al我试过了,不知道是不是接触电阻太大还是自身本征薄膜电阻太大的关系,测量I-V基本测不出电流,只有0.1nA左右,电阻大到10000M欧左右,和空接差不多了,问一下大家,本征硅薄膜自身电阻有那么大吗???
10楼2010-11-25 19:14:47
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power1

金虫 (初入文坛)


哪个大虾懂,告诉我啊,急求啊。。。。。。。
2楼2010-11-18 17:07:12
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丫丫680

木虫 (著名写手)



power1(金币+1):谢谢参与
捷联惯导
你的专业好高深啊,祝福你早日找到答案
3楼2010-11-18 17:23:42
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soloroc

木虫 (小有名气)



power1(金币+1):谢谢参与
通常用金属银
做成栅格装
4楼2010-11-18 21:09:09
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