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金虫 (初入文坛)

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[交流] 【求助】本征硅薄膜电极制备

大家好，麻烦问一下，本征硅薄膜怎么制作电极？用什么金属，什么工艺？随着晶化率的不同，用的材料和工艺通用吗？请懂得的大虾们详细的告诉小弟一下，谢谢了！

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1楼 2010-11-15 10:58:43

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金虫 (初入文坛)

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呵呵，做电极怎么能测晶化率呢，测晶化率可以用拉曼，我只是想在本征硅薄膜上做电极啊，7楼的哥们，问一下，要是银浆可以的话用磁控溅射溅射一层银薄膜，之后退火可以吗？Al我试过了，不知道是不是接触电阻太大还是自身本征薄膜电阻太大的关系，测量I-V基本测不出电流，只有0.1nA左右，电阻大到10000M欧左右，和空接差不多了，问一下大家，本征硅薄膜自身电阻有那么大吗？？？