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lu1985feng

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】在线急等,SEM下气孔和裂纹是亮还是暗

请教大侠!在SEM下的二次电子图像气孔和裂纹区域是亮还是暗?理论上,电子束和在试样上的作用区域是滴形区域,那么在平坦的区域二次电子产量要小于在深坑和裂纹处的产量,也就是说气孔和裂纹区域应该是亮的,可是很多文献上却说一些暗点是气孔,这是为什么

[ Last edited by lu1985feng on 2010-10-11 at 15:23 ]
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我要做金属的蛔虫
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shena

木虫 (职业作家)



lu1985feng(金币+2):非常感谢,能不能解释一下呢? 2010-10-11 16:17:11
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-10-11 16:44:30
气孔是亮的
裂纹时暗的
4楼2010-10-11 16:11:19
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koko丫头

铜虫 (初入文坛)


lu1985feng(金币+2):非常感谢你的解答 2010-10-11 15:46:39
lu1985feng(金币+1): 2010-10-11 16:18:11
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-10-11 16:43:49
应该是暗的
这是因为SEM成像是由二次电子,非导电物质如气孔,裂纹等无法被发射极激发,因此探头无法接受二次电子信号,所以是暗相
2楼2010-10-11 15:28:54
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lu1985feng

金虫 (小有名气)

谢谢,又有一个疑问,由于sem的景深较大,如果气孔和裂纹不是很深的话,导电性也没有问题,这时候是暗还是明呢?

[ Last edited by lu1985feng on 2010-10-11 at 15:47 ]
我要做金属的蛔虫
3楼2010-10-11 15:45:54
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koko丫头

铜虫 (初入文坛)


caocao4735(金币+1):谢谢详细解答 2010-10-11 16:44:22
引用回帖:
Originally posted by lu1985feng at 2010-10-11 15:45:54:
谢谢,又有一个疑问,由于sem的景深较大,如果气孔和裂纹不是很深的话,导电性也没有问题,这时候是暗还是明呢?

[ Last edited by lu1985feng on 2010-10-11 at 15:47 ]

根据SEM的相关理论,每个入射电子所激发的二次电子约在2--3个,当发射极发射大量入射电子激发试样时,即使是很小的高度差,也能造成较大的二次电子数量的差别。这也是SEM景深大的原因。所以即使不是很深,相信也能有肉眼能识别的明暗差吧
5楼2010-10-11 16:22:55
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