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benxiaohaimo

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问下有没有在硅表面自组装成膜的

我想请问下有没有人在硅片上自组装成膜的,硅片表面除了要清洗外还要其他表面修饰吗?为什么有些文献上说硅表面要先氧化成SiO2,也没有说明理由,谁能解释下吗?
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开心每一天
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yccycc

木虫 (著名写手)

看你要coat什么膜了
一般用piranha洗过后,硅片表面会带Si-OH,然后silane分子中的Si-OH会和硅片表面的Si-OH聚合。
除了silane,我还试过amino acid
你如果要deposit其他分子,可以先用silane将硅片表面改性
文献实在是太多了,随便一搜就一大把

[ Last edited by yccycc on 2010-10-7 at 01:35 ]
5楼2010-10-07 01:33:26
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查看全部 6 个回答

宋晴川

银虫 (正式写手)


nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-10-03 21:43:25
引用回帖:
Originally posted by benxiaohaimo at 2010-09-20 15:35:35:
我想请问下有没有人在硅片上自组装成膜的,硅片表面除了要清洗外还要其他表面修饰吗?为什么有些文献上说硅表面要先氧化成,也没有说明理由,谁能解释下吗?

呵呵 那是必须的。只有SiO2才能进一步做组装啊》
2楼2010-10-03 16:54:48
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benxiaohaimo

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 宋晴川 at 2010-10-03 16:54:48:

呵呵 那是必须的。只有SiO2才能进一步做组装啊》

有这方面的文章吗?
开心每一天
3楼2010-10-06 09:26:41
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)

不懂!只是做多孔硅膜
宁毁千座庙不坏一桩姻!
4楼2010-10-06 16:22:27
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