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guyueshuibai

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】RHEED 已有5人参与

想问一下各位,在做RHEED观察衬底表面时,需要对蓝宝石衬底,硅衬底各做什么样的清洗处理,才能观察到衍射条纹?他们都是单晶。
只是用超声波三步清洗就可以吗?要什么特属的方法吗?
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guyueshuibai

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by arui_first at 2010-09-09 20:40:27:
那就800呗  呵呵

请问你说的是硅衬底?那蓝宝石呢?怎么处理?
6楼2010-09-11 21:29:05
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julietzhu

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
wsht212:谢谢交流,希望常来! 2010-09-07 22:05:14
我就是一般的清洗,但是观察的结果不好,也是买的单晶。正纳闷到底怎么回事呢
2楼2010-09-07 21:30:11
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arui_first

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
帝夫(金币+1):谢谢回帖交流 2010-09-09 21:08:56
超声3步后,最好用稀HF去除表面氧化层,在观察前  先升温至850°左右半小时,除去表面杂质,我们实验室的前辈是这么弄的,我刚接触MBE,很多不懂,谁有RHEED图案分析的书吗?
3楼2010-09-09 16:05:48
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guyueshuibai

金虫 (正式写手)

帝夫:感谢回帖交流! 2010-09-09 21:09:13
引用回帖:
Originally posted by arui_first at 2010-09-09 16:05:48:
超声3步后,最好用稀HF去除表面氧化层,在观察前  先升温至850°左右半小时,除去表面杂质,我们实验室的前辈是这么弄的,我刚接触MBE,很多不懂,谁有RHEED图案分析的书吗?

我的设备只能最高升到800度。
4楼2010-09-09 20:26:29
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