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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【请教】一般用什么刻蚀ITO电极？
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zgm029

铁虫 (小有名气)

[交流] 【请教】一般用什么刻蚀ITO电极？已有10人参与

如题，请知道的朋友帮忙，另外需不需要光刻胶呢？谢谢！
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1楼2010-08-30 05:48:36
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liushui21

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by xiaohunhun at 2011-08-05 19:09:55
H3PO4:CH3COOH:HNO3:Additive:H2O=69:10:2.5:2:16.5 wt%

我试了一下，感觉触变性不是特别好。不过非常感谢。我想问下，这个比例有没有文献的来源
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13楼2019-07-25 16:31:52
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chinasky301

金虫 (小有名气)

sky
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看你要求精度是多少  如果 对精度 要求不是太高  用稀盐酸 就可以 也不用光刻胶
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-08-31 11:44:25
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汉王重出江湖

木虫 (著名写手)

辽南王子
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看你做什么用了，一般用酸刻蚀
赞一下(1人) 回复此楼
自己永远要追求最完美！宠辱不惊，看庭前花开花落；去留无意，望天上云卷云舒。我现在喜欢上了一句话叫有心栽花花不发，无心插柳柳成荫。
3楼2010-08-31 17:04:53
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tianxiaochun

实习版主 (知名作家)

聪聪家族之无敌小破孩
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
什么是刻蚀？？？
赞一下(1人) 回复此楼
我很个性，无需签名！
5楼2010-08-31 23:06:18
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