| 查看: 4713 | 回复: 17 | |||||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||||
[交流]
【讨论】蓝宝石衬底 已有10人参与
|
|||||||
|
蓝宝石衬底 蓝宝石晶体是第三代半导体材料GaN外延层生长最好的衬底材料之一，其单晶制备工艺成熟。GaN为蓝光LED制作基材。 一、GaN外延层的衬底材料 1、SiC与GaN晶格失配度小，只有3.4%，但其热膨胀系数与GaN差别较大，易导致GaN外延层断裂，并制造成本高，为蓝宝石的10倍 2、Si成本低，与GaN晶格失配度大，达到17%，生长GaN比较难，与蓝宝石比较发光效率太低。 3、蓝宝石晶体结构相同（六方对称的纤锌矿晶体结构），与GaN晶格失配度大，达到13%，易导致GaN外延层高位错密度（108—109/cm2）。为此，在蓝宝石衬底上AlN或低温GaN外延层或SiO2层等，先进方法可使GaN外延层位错密度达到106/cm2水平。 二、蓝宝石、GaN的品质对光致发光的影响蓝宝石单晶生长技术复杂，获得低杂质、低位错、低缺陷的单晶比较困难。蓝宝石单晶质量对GaN外延层的质量有直接的影响，其杂质和缺陷会影响GaN外延层质量，从而影响器件质量（发光效率、漏电极、寿命等）。 蓝宝石单晶的位错密度一般为104/cm2数量级，它对GaN外延层位错密度（108—109/cm2）影响不大。 三、蓝宝石衬底制作主要包括粘片、粗磨、倒角、抛光、清洗等，将2英寸蓝宝石衬底由350—450μm（4英寸600μm左右）减到小于100μm（4英寸要厚一些 四、蓝宝石基板市场上2英寸蓝宝石基板的主要技术 高纯度 —— 99.99%以上（4—5N） 晶向 —— 主要是C面，C轴（0001）±0.3° 翘曲度 —— 20μm 厚度 —— 330μm—430μm±25μm 表面粗糙度 —— Ra<0.3 背面粗糙度 —— Ra<1μm（不是很严格） |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 材料+新能源+催化+外语 | 蓝宝石LED衬底 | 百宝箱 | 专业辅导 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
wyb1204» 猜你喜欢
在MOF中，有没有羧基参加配位的情况
已经有2人回复
-
招2026年入学上海交通大学博士生，急！！！
已经有1人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有194人回复
-
理论计算合作
已经有0人回复
-
求高校合作
已经有1人回复
-
27级无机化学申博自荐
已经有2人回复
-
Chemdraw免费软件
已经有0人回复
-
单晶结构解析，各类疑难晶体数据处理和答疑
已经有38人回复
-
这个水相反应有没有催化剂促进发生
已经有4人回复
-
Mn Me3TACN
已经有5人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助--用1stopt拟合蓝宝石衬底的GaN薄膜红外反射光谱
已经有6人回复
- 我用的分子束外延做的半导体薄膜 ，方阻太大了
已经有8人回复
- 切割蓝宝石，硅片，用什么刀
已经有19人回复
- 请教各位，蓝宝石（Al2O3）基片一般是怎么切割的
已经有19人回复
- 蓝宝石（001）衬底上磁控溅射外延ZnO薄膜
已经有4人回复
- Sapphire 蓝宝石衬底和Al2O3衬底的区别
已经有12人回复
- 氧化铝陶瓷与蓝宝石的区别
已经有9人回复
- 做外延三五族氮化物薄膜，有时需要高阻材料，这是为什么？
已经有5人回复
- 关于蓝宝石晶体生长过程中的散射中心以及镶嵌结构的消除
已经有20人回复
- C面蓝宝石是指向某一方向都是C面的蓝宝石吗？
已经有3人回复
- LED芯片中ITO合金什么作用？
已经有20人回复
- 铝酸镧单晶衬底加热变黄的原因
已经有3人回复
- 蓝宝石衬底加工检测手段
已经有5人回复
- 求蓝宝石衬底单晶半峰宽及位错密度的测试方法及计算公式
已经有8人回复
- 泡生法制备蓝宝石晶体的成品率问题
已经有29人回复
- 【请教】蓝宝石单晶生长的方法有几种？
已经有9人回复
- 【求助】蓝宝石清洗时酸的浓度
已经有5人回复
- 【请教】RHEED
已经有9人回复
- 【求助】蓝宝石衬底上直接溅射BST铁电薄膜
已经有9人回复
lin14051
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 11689.3
- 散金: 2197
- 红花: 4
- 帖子: 1327
- 在线: 376.9小时
- 虫号: 664605
- 注册: 2008-11-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
9楼2011-05-10 13:58:16
drg1984
荣誉版主 (著名写手)
奋斗
- CMEI: 4
- 应助: 41 (小学生)
- 贵宾: 1.616
- 金币: 7513.6
- 散金: 150
- 红花: 68
- 沙发: 1
- 帖子: 2419
- 在线: 348.2小时
- 虫号: 692675
- 注册: 2009-01-14
- 性别: GG
- 专业: 马、恩、列、斯思想研究
- 管辖: 晶体
3楼2011-01-03 14:08:12
lin14051
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 11689.3
- 散金: 2197
- 红花: 4
- 帖子: 1327
- 在线: 376.9小时
- 虫号: 664605
- 注册: 2008-11-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
5楼2011-05-05 10:20:50
drg1984
荣誉版主 (著名写手)
奋斗
- CMEI: 4
- 应助: 41 (小学生)
- 贵宾: 1.616
- 金币: 7513.6
- 散金: 150
- 红花: 68
- 沙发: 1
- 帖子: 2419
- 在线: 348.2小时
- 虫号: 692675
- 注册: 2009-01-14
- 性别: GG
- 专业: 马、恩、列、斯思想研究
- 管辖: 晶体
6楼2011-05-05 10:59:11
投票:
