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【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用
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weizhiyong
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【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用
已有9人参与
我们都知道做CPU芯片主要是使用单晶硅做的。除了硅之外还有一些金属做互联线,如早期的Al,目前的主流Cu。
最近看CPU的制造工艺,好像还要把硅氧化成非晶二氧化硅,来作门极。不是太了解。我觉二氧化硅应该是来做为绝缘层的吧?作门极是什么意识?而且为什么么要用非晶二氧化硅呢?为什么不用晶体二氧化硅呢?
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2010-08-12 10:34:55
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笑月天郎
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帖子: 103
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虫号: 2023906
注册: 2012-09-23
性别: GG
专业: 半导体电子器件
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主把原文拿来大家看看,结合全文兴许能解决~
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11楼
2013-06-20 09:12:12
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