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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】关于P型Si的电阻率和掺杂浓度的关系
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horse1825

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】关于P型Si的电阻率和掺杂浓度的关系 已有5人参与

审稿专家问我，我用来做薄膜衬底的P型Si基片的掺杂浓度是多少？我打电话问生产厂家，得知电阻率是5~8欧厘米，但是掺杂浓度也不知道！所以我想请教各位大侠，有谁知道“电阻率是5~8欧厘米的B掺杂Si，其掺杂浓度大概是多少？是重掺杂还是轻掺杂？”小弟不胜感激！
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1楼 2010-08-06 21:50:49
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
horse1825(金币+1):谢谢参与
tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-08-07 23:21:11
这个没有确定的关系，都是实验经验。
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2楼2010-08-06 22:07:28
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andarchan

金虫 (小有名气)
★ ★
horse1825(金币+1):谢谢参与
horse1825(金币+3):你有时间的话，可以帮我查一下，我在外面实习不在学校，找不到这方面的资料，不甚感激！ 2010-08-07 17:51:18
tongling921(金币+1):谢谢回帖交流 2010-08-07 23:21:16
这个可以查下相关半导体工艺书籍 我查询过
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3楼2010-08-06 23:44:56
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andarchan

金虫 (小有名气)
★
horse1825(金币+1):谢谢参与
不好意思 我现在也走出学校 在公司上班了 我以前是在我学校图书馆查到的
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4楼2010-08-07 21:45:06
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夕阳西下

金虫 (著名写手)
★
horse1825(金币+1):谢谢参与
可以自己测试一下啊
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5楼2010-08-08 05:03:01
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hilda-zhang

金虫 (小有名气)
★
horse1825(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by horse1825 at 2010-08-06 21:50:49:
审稿专家问我，我用来做薄膜衬底的P型Si基片的掺杂浓度是多少？我打电话问生产厂家，得知电阻率是5~8欧厘米，但是掺杂浓度也不知道！所以我想请教各位大侠，有谁知道“电阻率是5~8欧厘米的B掺杂Si，其掺杂浓度大概 ...

请问楼主的情况大概的掺杂浓度是多少呢？
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6楼2011-07-19 20:17:31
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15172090543
★
horse1825(金币+1):谢谢参与
nono2009: 专业区求助帖请勿纯表赚金币！ 2011-07-24 06:25:12
7楼2011-07-21 16:34:17
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15172090543
★
horse1825(金币+1):谢谢参与
8楼2011-07-21 16:34:29
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by horse1825 at 2010-08-06 21:50:49:
审稿专家问我，我用来做薄膜衬底的P型Si基片的掺杂浓度是多少？我打电话问生产厂家，得知电阻率是5~8欧厘米，但是掺杂浓度也不知道！所以我想请教各位大侠，有谁知道“电阻率是5~8欧厘米的B掺杂Si，其掺杂浓度大概 ...

。。。是单晶还是多晶啊？电阻率和浓度的关系理论上取样于电子和空穴补偿后的净载流子浓度。但是工业化生产的硅片，如果是B掺杂的话，施主的浓度和受主的浓度不在一个数量级上，施主可以忽略。所以可以根据电阻率和浓度的关系来计算。找本半导体物理书看看就知道。p型5-8欧的话，（1.6---2.5）x1015次方左右。空穴迁移率取1500算的。属于中等掺杂，不算重掺。单晶的话这个精度够用了，多晶的话，精度高低取决于晶粒尺寸，晶粒尺寸越大，精度越高。
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是金子总会发光！！！
9楼2011-07-31 09:40:39
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员
引用回帖:
Originally posted by SCU_magiclee at 2011-07-31 09:40:39:
。。。是单晶还是多晶啊？电阻率和浓度的关系理论上取样于电子和空穴补偿后的净载流子浓度。但是工业化生产的硅片，如果是B掺杂的话，施主的浓度和受主的浓度不在一个数量级上，施主可以忽略。所以可以根据电阻 ...

如果实在是要清楚的知道施主和受主有多少的话，去做二次离子质谱吧，上海埃文思。有点小贵哈。
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是金子总会发光！！！
10楼2011-07-31 09:41:56
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