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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】求助RIE能否刻蚀ag，用什么气体和条件啊？多谢
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bnuxin

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助RIE能否刻蚀ag，用什么气体和条件啊？多谢

想用rie刻蚀ag，不知道要用什么气体，什么条件啊，知道的指点一下啊，多谢啦
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1楼 2010-07-22 15:36:49
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GalaxC

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
同问，请问有解决的recipes么？
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2楼2022-11-16 12:10:31
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