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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【此贴完结】【请教】急 要将锡退火形成二氧化锡需要多高的温度啊？
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gongzhuer6923

至尊木虫 (知名作家)

[交流] 【此贴完结】【请教】急 要将锡退火形成二氧化锡需要多高的温度啊？ 已有1人参与

此贴完结 请斑竹删帖 谢谢

[ Last edited by gongzhuer6923 on 2010-8-7 at 15:21 ]
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士不可不弘毅，任重而道远。
1楼 2010-06-17 10:17:20
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yznian

至尊木虫 (著名写手)
gongzhuer6923(金币+10):谢谢大侠指教 我样品的膜也就几百纳米吧 我怕给蒸没了就悲剧了啊 2010-06-17 12:38:14
在温度到达1280K之前 升温速率越快越好（按照你可以控制的最快速度） 这样可以有效的避免挥发性氧化亚锡生成 过后适当慢一点 （但是这个要结合你的气氛下Sn的蒸发速率来说）
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3楼2010-06-17 11:33:16
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yznian

至尊木虫 (著名写手)
★
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-17 11:22:54
gongzhuer6923(金币+8):温度好高啊 我们的炉子也达不到这个温度啊 那温度上升速率大概以多少为宜呢？ 2010-06-17 11:27:20
如果很饱的话退火的话2400K比较好 但是保温时间短一点（避免你说的蒸发过度） 另外 有条件的话增大氧分压 最好用纯氧 另外 温度不能过低 否则会优先生成氧化亚锡 是不稳定气体 这样容易跑走
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2楼2010-06-17 11:18:18
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yznian

至尊木虫 (著名写手)
感觉你说的那个炉子很挫 高温达不到 氧气氛高压不能实现 确实挺棘手。但是原理是我说的这样，具体操作你只能借鉴一下，我是成功了的，当时用的好像是200nm的薄膜来着。但是出于慎重，我不敢保证啊，不然你的东东弄坏了可不好。
引用回帖:
Originally posted by yznian at 2010-06-17 11:33:16:
在温度到达1280K之前 升温速率越快越好（按照你可以控制的最快速度） 这样可以有效的避免挥发性氧化亚锡生成 过后适当慢一点 （但是这个要结合你的气氛下Sn的蒸发速率来说）

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4楼2010-06-18 00:20:43
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