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coldcity木虫 (正式写手)
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北京什么单位有椭偏仪
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我需要测试SiNx等薄膜厚度，请问北京什么单位有椭偏仪设备，且对外服务，希望知道的告诉一下啊 谢谢了。 |
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coldcity
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3楼2010-06-07 14:24:01
qfw_68
版主 (文坛精英)
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coldcity(金币+2): 2010-06-07 17:33:51
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清华大学纳米中心有光谱式椭偏仪。 https://www.cers.edu.cn/servlet/ ... lt?groupid=10003221 波长210nm-900nm，膜厚分辨率1A-几个um https://cache.baidu.com/c?m=9d78 ... 5f5e&user=baidu |
2楼2010-06-07 09:31:02
sanghongyuan
木虫 (正式写手)
木米末
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5楼2010-06-07 16:43:04
zhangzx3091
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6楼2012-08-09 15:46:00
