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tickychao206

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】蓝宝石衬底上直接溅射BST铁电薄膜已有6人参与

各位朋友们好,有一事想请教
如果衬底与薄膜材料晶格结构不匹配,一个立方晶系,一个六方晶系,会不会可能溅射不上去呢?
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正心修身!
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tickychao206

银虫 (小有名气)

还有一点要说明的是:曾有人直接在上面溅射成薄膜并做成器件,当然也有用溶胶法,MOCVD等方法直接做成薄膜的,当同时也有一些论文上表示:晶格不匹配严重,需要加缓冲层。。,所以我都不知道该如何选择了?
而且加了缓冲层,对实验进程会有很大的影响。
正心修身!
7楼2010-05-07 08:47:20
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tickychao206

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 元小雪 at 2010-05-05 13:07:21:
加过度层吧

事实上我也想加过渡层,但是条件不允许
会不会存在溅射不上去的情况呢?或者仅是生长的不够好而已?
正心修身!
3楼2010-05-05 21:05:13
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tickychao206

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 元小雪 at 2010-05-05 13:07:21:
加过度层吧

求联系方式,我在华中科技大学电子系读硕士,关于磁控溅射还有很多东西不了解,望指导!
正心修身!
4楼2010-05-05 21:41:10
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hanwh03

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
可以,只是结晶状态不佳,晶格完全匹配的称为同质外延!通常情况下都是不匹配的!
5楼2010-05-06 10:46:05
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