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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】蓝宝石衬底上直接溅射BST铁电薄膜
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tickychao206

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】蓝宝石衬底上直接溅射BST铁电薄膜 已有6人参与

各位朋友们好，有一事想请教
如果衬底与薄膜材料晶格结构不匹配，一个立方晶系，一个六方晶系，会不会可能溅射不上去呢？
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正心修身！
1楼 2010-05-05 10:15:14
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tickychao206

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by hanwh03 at 2010-05-06 10:46:05:
可以，只是结晶状态不佳，晶格完全匹配的称为同质外延！通常情况下都是不匹配的！

做厚一点，应该会好很多吧，比如说做到1微米厚？
反正我做的是梯度薄膜，就当最下面的一层是同结构缓冲层，如何？
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正心修身！
6楼2010-05-07 08:40:48
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tickychao206

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 元小雪 at 2010-05-05 13:07:21:
加过度层吧

事实上我也想加过渡层，但是条件不允许
会不会存在溅射不上去的情况呢？或者仅是生长的不够好而已？
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正心修身！
3楼2010-05-05 21:05:13
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tickychao206

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 元小雪 at 2010-05-05 13:07:21:
加过度层吧

求联系方式，我在华中科技大学电子系读硕士，关于磁控溅射还有很多东西不了解，望指导！
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正心修身！
4楼2010-05-05 21:41:10
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hanwh03

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以，只是结晶状态不佳，晶格完全匹配的称为同质外延！通常情况下都是不匹配的！
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5楼2010-05-06 10:46:05
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