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btian

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】如何表征薄膜样品最表面凸起结构的物相信息 已有7人参与

具体问题是:目前测定的样品为金属薄膜,厚度为50um左右,尺寸为100um。
对样品表面的场发射扫描电镜观察发现,表面有规则排布的突起结构,尺寸大约为50nm,呈锥状造型。
现在想知道这些锥状突起结构的物相是什么?因其尺寸过小,分布位置仅在最表面,
所以在此诚心向各位高手请教,能采用什么手段仅表征最表面突起结构的物相组成》?


已采用TEM测试过,样品采用离子减薄至穿孔,仅对穿孔周围区域进行了TEM观察,但是感觉测定的位置还不一定是最表面,哪位高手能提供TEM表面制样的好方法也可以,先谢谢了!!!!
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李翔1986

木虫 (小有名气)

锥状突起结构的物相,AFM
4楼2010-04-29 22:04:48
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btian

银虫 (初入文坛)

突起结构跟金字塔造型差不多,就是想知道这些金字塔造型突起的物相,高手们谢谢了!!!!!
2楼2010-04-29 11:12:41
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yznian

至尊木虫 (著名写手)


zigo(金币+1):谢谢参与! 2010-04-29 20:49
用AFM 我去年就是这样的情况用的AFM
3楼2010-04-29 20:42:40
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btian

银虫 (初入文坛)

AFM只能做表面的形貌,好像没法做表面突起结构的物相成分组成分析吧?
5楼2010-04-30 10:49:13
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