【交流】有关等离子体的概念 - 物理 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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金虫 (著名写手)

引用回帖:

Originally posted by floljf at 2010-04-23 10:09:05:

受教了！那么火这样的等离子体是怎么产生的？热量使空气电离？

等离子体产生的方法有很多种，电弧，火花，闪电，现在的溅射，气相沉积。

11楼2010-04-24 13:43:39

金虫 (正式写手)

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

送鲜花一朵

我也一直不太明白PECVD镀膜时候，各种电源的作用方式。
比如说射频-直流PECVD中，射频电源和直流负偏压是相互有联系的吗？
是不是射频PECVD 和直流PECVD 都可以镀膜，只是单一电源要比叠加电源(射频-直流PECVD）的效率第一点？

12楼2012-12-25 11:08:03

13楼2012-12-26 18:36:56

新虫 (初入文坛)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

LZ为什么不找本书看看呢，
看完第一章一切都清楚了。。。

14楼2015-04-09 18:51:43

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