| 查看: 622 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
luwei_6铜虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】JGP560反溅射清洗基片的问题 已有1人参与
|
||
|
该系统在进样室的反溅射靶台上进行基片的溅射清洗，和射频靶使用同一个射频电源和匹配器。它的射频电源说明书上只说了要在使用时调节匹配器上的电容C1和C2使驻波比小于1.5，请问反溅清洗和正常的射频溅射的要求都一样么？我进行反溅清洗时驻波比相当大，入射功率大概15W的时候发射功率怎么调都在10W以上。 另外，偏压电源是干什么用的，怎么用？看说明书上说可以在镀膜时持续轰击基片，可在论坛上有人说是用来清洗溅射室的。偏压电源预热后加在功率只有电压升高，电流一点变化都没有，开启其他电源进行正常溅射时偏压电源也是这反应。到底该怎们弄啊？ [ Last edited by luwei_6 on 2010-4-17 at 12:41 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有6人回复
-
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有19人回复
-
有没有仍没收到信息的
已经有7人回复
-
国社科又开始会评了，不知道这次命运如何
已经有4人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有8人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有7人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有8人回复
| up！！！ |
2楼2010-04-17 12:41:17
luwei_6
铜虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 77.9
- 散金: 17
- 帖子: 145
- 在线: 60.5小时
- 虫号: 894576
- 注册: 2009-11-05
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2010-04-17 12:43:36
