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电子损失能谱仪简介
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电子损失能谱仪简介: 在1929年由Rudberg发表利用一特定能量之电子束施加在欲量测的金属样品上,然后接收非弹性(亦即是有能量损失)的电子,此时发现能量损失电子具有与X光类似的特性,就是会随着样品的化学成分不同而有不同的损失能量,因此可以分析不同的能量损失位置而得知材料的元素成份。除此之外,由于电子损失能量是由材料外层的电子吸收之后跃迁到更高轨域所吸收,因此除了可以鉴别材料的种类之外,亦可以分析材料的能隙、键结强度与种类,可以说是一种非常强大的分析工具。 |
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