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lingyunxn

金虫 (正式写手)
houbing(金币+5, 博学EPI+1):感谢回复 2010-04-06 20:36
温度传感器因其在现代信息技术中的特殊作用, 在传感技术中占有十分重要的地位, 是目前用量最大的一类传感器。薄膜温度传感器体积小, 响应快, 精度好, 集成度高, 稳定性强, 且性能独特, 能够满足温度传感技术小型化、集成化、阵列化、多功能化、智能化、系统化及网络化的发展趋势, 在集成电路、微纳器件等领域具有广阔的应用前景。
薄膜温度传感器的测量精度、稳定性、寿命等性能与其敏感
膜的制备工艺、方法及流程有着密切的关系。制备温度敏感薄膜
的方法有很多, 目前较常采用的有磁控溅射法、离子束辅助沉积
法、化学气相沉积法等。
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3楼2010-04-06 20:24:36
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