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【求助】【求助】脉冲激光沉积法PLD生长金属薄膜沉积速率比较慢的原因有哪些？
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| 请教一下，脉冲激光沉积法PLD生长金属薄膜相比较使用合金或者化合物靶材生长多元化合物薄膜沉积速率慢的原因有哪些？ 谢谢指教！ |
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2楼2010-03-24 09:54:09