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金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】【求助】脉冲激光沉积法PLD生长金属薄膜沉积速率比较慢的原因有哪些？

请教一下，脉冲激光沉积法PLD生长金属薄膜相比较使用合金或者化合物靶材生长多元化合物薄膜沉积速率慢的原因有哪些？谢谢指教！

1楼 2010-03-23 21:30:47

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金虫 (小有名气)

honleer(金币+6): 2010-04-24 09:28

apl上多年前有篇paper，大概题目是why...deposition rate is 1A。从基础上解释了PLD的沉积速率的大概范围。

2楼2010-03-24 09:54:09

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