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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】在AAO模板上喷金后，纳米孔会被堵吗？
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williechen

金虫 (小有名气)

不会堵，我找到证据了

Atomic layer deposition of palladium films on Al2O3 surfaces
这篇文章里有图说明：
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其生也有涯，其知也无涯
11楼2010-03-21 23:27:01
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cynthia916

银虫 (正式写手)
williechen(金币+4):谢谢，有问题再向你请教！ 2010-03-22 23:43
就用扫描喷金的设备，喷一次大概三分钟，肯定堵不上，厚度约为15nm。我后期做电沉积，必须把孔堵上，喷了15次，大概200nm。
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抽风的师太
12楼2010-03-22 17:44:17
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nuanfengtj

金虫 (正式写手)

副教授
引用回帖:
Originally posted by lcycomcn at 2010-03-21 18:41:16:
喷的金只有大概3nm，一般不会堵着AAO的孔。但是20nm的AAO喷金的时间要适当短一些。

3nm 的金，应该是喷的金属铂，要是gold的化应该在10nm左右
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13楼2010-03-22 23:35:59
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
应该不会的 但是 你要掌握好喷金的各种参数 太薄太后观测的结果可能都不太好 就是说喷的适当 可以照出完美的图片
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没有做不到只有想不到
14楼2010-04-03 16:56:46
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吓吓虫

木虫 (著名写手)
不会堵住的，楼主放心吧
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15楼2010-04-06 13:55:47
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274898886

金虫 (小有名气)
看过一篇相关文献，文献是这么说的：会不会堵塞取决于你喷金的速度，喷的快就不会堵上，喷的慢就会在孔洞里面也生产金属，形貌就好纳米管一样
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16楼2010-04-08 18:45:56
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