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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射镀膜的问题——薄膜的电阻很大是什么原因造成的？
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
谢谢分享意见
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11楼2010-03-13 11:59:41
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
我用的是氩气。
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12楼2010-03-13 12:02:49
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
疑问中。
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13楼2010-03-22 21:44:25
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zcq4891

金虫 (小有名气)
发表一点拙见，不知对不对：
磁控溅射法制的薄膜能用万用表测吗？我做AZO薄膜，一开始图方便也用万用表测，那结果直接令人崩溃，兆欧级出现多次。后来用四探针法测，才小了很多。
四探针法一般测半导体的，不知道能不能测金属
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14楼2010-04-01 13:50:55
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zcq4891 at 2010-04-01 13:50:55:
发表一点拙见，不知对不对：
磁控溅射法制的薄膜能用万用表测吗？我做AZO薄膜，一开始图方便也用万用表测，那结果直接令人崩溃，兆欧级出现多次。后来用四探针法测，才小了很多。
四探针法一般测半导体的，不知 ...

可以粗测，不是很准，但是基本大小趋势是对的。
赞一下 回复此楼
15楼2010-04-03 20:00:33
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