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yjyang07木虫 (著名写手)
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[交流]
【交流】磁控溅射自偏压为什么老是波动
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| 射频磁控溅射自偏压刚刚起辉溅射时较低，慢慢又升高了50伏左右，这是为什么？自偏压高似乎不利于薄膜生长？大家怎么看？ |
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4楼2010-01-12 15:33:47
yjyang07
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5楼2010-01-12 15:57:06