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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】磁控溅射自偏压为什么老是波动
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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】磁控溅射自偏压为什么老是波动

射频磁控溅射自偏压刚刚起辉溅射时较低，慢慢又升高了50伏左右，这是为什么？自偏压高似乎不利于薄膜生长？大家怎么看？
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天行健，君子以自强不息～～～～～
1楼 2010-01-06 15:07:50
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yjyang07

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by tmxkzk at 2010-1-12 15:33:
看你靶材有没有清理干净，或者基座清理一下，我以前也遇到过你这种情况。

好的  我会注意的  谢谢
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天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2010-01-12 15:57:06
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wenhaijun

捐助贵宾 (初入文坛)

介意

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
popsheng(金币+0,VIP+0):请现跟我们联系，待我们核实后，再发布类似公司信息。 1-10 15:32
\\\\\\\\\\\\\\\\

[ Last edited by ddx-k on 2010-1-13 at 16:58 ]
赞一下(21人) 回复此楼
2楼2010-01-10 13:56:29
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tmxkzk

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
ddx-k(金币+1,VIP+0):xx 1-13 16:58
看你靶材有没有清理干净，或者基座清理一下，我以前也遇到过你这种情况。
赞一下(11人) 回复此楼
4楼2010-01-12 15:33:47
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3q 1-19 14:06
应该是溅射不稳定造成的，你是否反应溅射，反应溅射很容易出现这样的问题。建议先用挡板档住靶材预溅射5-10min。
赞一下(11人) 回复此楼
6楼2010-01-14 10:03:56
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