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yjyang07木虫 (著名写手)
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[交流]
【交流】磁控溅射自偏压为什么老是波动
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| 射频磁控溅射自偏压刚刚起辉溅射时较低,慢慢又升高了50伏左右,这是为什么?自偏压高似乎不利于薄膜生长?大家怎么看? |
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2楼2010-01-10 13:56:29
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7楼2010-01-14 14:15:26
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8楼2010-01-19 13:16:05














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