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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】磁控溅射自偏压为什么老是波动

射频磁控溅射自偏压刚刚起辉溅射时较低,慢慢又升高了50伏左右,这是为什么?自偏压高似乎不利于薄膜生长?大家怎么看?
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天行健,君子以自强不息~~~~~
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tmxkzk

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
ddx-k(金币+1,VIP+0):xx 1-13 16:58
看你靶材有没有清理干净,或者基座清理一下,我以前也遇到过你这种情况。
4楼2010-01-12 15:33:47
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