| 查看: 1429 | 回复: 14 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
yjyang07木虫 (著名写手)
|
[交流]
【求助】磁控溅射镀膜出现奇怪现象
|
||
|
我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜，2寸的靶，功率30w，很小，气压1Pa左右，温度大概590度，薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么？ 是因为温度太高还是氧离子反溅射所致，还是因为腔体被污染了？请高手指点。 |
回复此楼» 猜你喜欢
265求调剂
已经有9人回复
-
085600材料与化工调剂
已经有20人回复
-
专硕 351 086100 也是考的材科基 本科也是材料
已经有6人回复
-
085600专硕材料与化工348分求调剂
已经有10人回复
-
085600 295分求调剂
已经有21人回复
-
285求调剂
已经有5人回复
-
一志愿安徽大学0817化学工程与技术，求调剂
已经有9人回复
-
一志愿0817化学工程与技术，求调剂
已经有8人回复
-
271分求调剂学校
已经有3人回复
-
生物学308分求调剂（一志愿华东师大）
已经有7人回复
kcjwj
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3251.8
- 散金: 5
- 帖子: 327
- 在线: 149小时
- 虫号: 527064
- 注册: 2008-03-17
- 性别: GG
- 专业: 物理学II
6楼2009-12-23 11:01:09
gaochao808
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 702.8
- 红花: 1
- 帖子: 105
- 在线: 31.7小时
- 虫号: 461529
- 注册: 2007-11-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2009-12-22 19:55:53
jinchao
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 480.5
- 帖子: 20
- 在线: 38.1小时
- 虫号: 460044
- 注册: 2007-11-15
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2009-12-22 21:54:04
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2009-12-22 23:41:48
