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yjyang07木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】磁控溅射镀膜出现奇怪现象
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我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜，2寸的靶，功率30w，很小，气压1Pa左右，温度大概590度，薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么？ 是因为温度太高还是氧离子反溅射所致，还是因为腔体被污染了？请高手指点。 |
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yjyang07
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5楼2009-12-23 08:18:28
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2楼2009-12-22 19:55:53
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3楼2009-12-22 21:54:04
cord 
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4楼2009-12-22 23:41:48