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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射镀膜出现奇怪现象
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】磁控溅射镀膜出现奇怪现象

我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜，2寸的靶，功率30w，很小，气压1Pa左右，温度大概590度，薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么？
是因为温度太高还是氧离子反溅射所致，还是因为腔体被污染了？请高手指点。
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天行健，君子以自强不息～～～～～
1楼 2009-12-22 17:36:33
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gaochao808

金虫 (小有名气)
★ ★
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小木虫:)(金币+1,VIP+0):3q 12-22 22:59
衬底没洗干净吧，也可能是其他的污染
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2楼2009-12-22 19:55:53
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jinchao

银虫 (初入文坛)
★ ★ ★
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用的什么衬底，
把温度调低，降温稍慢点
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3楼2009-12-22 21:54:04
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
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衬底没有清洗干净，做完之后在真空中降温。
你这个温度是加热器温度还是衬底温度？
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4楼2009-12-22 23:41:48
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yjyang07

木虫 (著名写手)
是衬底实际温度
但是做其他材料没有出现这种情况，初步猜测是真空腔被其他材料污染了
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天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2009-12-23 08:18:28
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kcjwj

木虫 (正式写手)
★
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这有什么奇怪了，我镀的这样的时候多了
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6楼2009-12-23 11:01:09
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元小雪

木虫 (职业作家)
★ ★ ★
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腔体被污染了吧，就是传说中的靶中毒
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无聊的博士
7楼2009-12-23 16:38:24
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guofx1234

铁虫 (正式写手)

不是很懂

★ ★
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也来顶一下，可能是热收缩导致的
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8楼2009-12-23 20:38:26
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guofx1234

铁虫 (正式写手)

呵呵

★ ★
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楼主能不能传点磁控溅射的好资料分享一下啊
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9楼2009-12-23 20:39:27
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★
小木虫:)(金币+5,VIP+0):3q 12-24 20:47
给你个连接，那上面很多的 http://bbs.coatingdata.com/index.aspx
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天行健，君子以自强不息～～～～～
10楼2009-12-24 14:25:47
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