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tilamisu

铁虫 (小有名气)

[交流] 【请教】磁控溅射

各位好啊,我做的是以si衬底的铁电薄膜,作电性能测试前往薄膜上溅射pt才可以的,可是我这又没有磁控溅射或蒸发的条件,大家能给我想想办法么?还有一问题就是作SEM的溅射是磁控溅射么,那个可以实现吗,,拜托各位!!!!
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坚持就是胜利
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catcyq

新虫 (初入文坛)

可以,试过
2楼2009-12-03 23:02:29
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venturehit

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论。 12-4 17:40
SEM的喷金就是蒸发镀Pt
也许结合力不如溅射吧
3楼2009-12-04 17:28:02
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winipo

木虫 (小有名气)

可以买到有铂金层的硅片
SEM的Pt也可以
4楼2009-12-04 20:33:01
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