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[交流]
【交流】气体流量问题 感兴趣的进
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今天听说了一个关于流量计的问题,不同的流量计的标定气体不一样,我们用的AE流量计,标定气体是氩气,这样通过氩气标定后的流量计再用于别的气体时,实际流通的气体物质的量和显示的就有了差异,但是不知道各个不同气体之间是什么比例,比如氩气流量是100sccm,但当用此流量计通乙炔,甲烷,氮气,氧气时,显示流量是100sccm时,实际这些气体的流量应该是多少? 不知道各位大侠有无这方面的经验?小弟抛砖引玉,敬请赐教! |
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