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[交流]
【交流】气体流量问题 感兴趣的进
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今天听说了一个关于流量计的问题，不同的流量计的标定气体不一样，我们用的AE流量计，标定气体是氩气，这样通过氩气标定后的流量计再用于别的气体时，实际流通的气体物质的量和显示的就有了差异，但是不知道各个不同气体之间是什么比例，比如氩气流量是100sccm，但当用此流量计通乙炔，甲烷，氮气，氧气时，显示流量是100sccm时，实际这些气体的流量应该是多少？ 不知道各位大侠有无这方面的经验？小弟抛砖引玉，敬请赐教！ |
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