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yuemi

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】金属表面纳米沟槽的制备

求助:打算做金属表面的纳米加工,就是在金属表面做出纳米孔、 纳米线、 纳米沟槽/沟道等不同的形貌。现在沟槽的制备遇到了问题,查阅了很多文献,好像只能利用激光或者聚焦离子束等仪器才能在金属表面刻蚀出规则的沟槽,可仪器不凑手,郁闷呀!!
请教各位高人,还有其他办法能在金属表面制备出纳米沟道么?  另外哪所大学或研究所有能够进行纳米加工的激光或者聚焦离子束等仪器呢?拜求高人!!!!
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dazhi7758

至尊木虫 (著名写手)


薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 11-26 10:29
光刻胶不知道好用不
3楼2009-11-25 21:09:36
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cqh3851038

金虫 (正式写手)


薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 11-26 10:29
请问你想到了没有用等离子体刻蚀的方法来做
搞研究如同做人认认真真
2楼2009-11-25 18:04:24
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glghjy

新虫 (初入文坛)

可以利用纳米压印,光刻,聚焦离子束刻蚀做出结构之后,然后以剩余的挡层做掩模板,用湿法刻蚀和等离子刻蚀都可以做了,应该挺容易做到的,可以到北京大学,天津纳米中心,吉林大学,南京大学及好多中科院所都可以做,祝你早日成功。
4楼2009-12-01 14:51:05
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david_xian

制备出来的样品你们一般是用什么方法去检测尺寸、形状的准确性?
5楼2009-12-23 09:45:39
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