| 查看: 480 | 回复: 105 | ||
[商家供应]
【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺
|
||
|
微纳代工服务说明如下： 服务范围 ◆ ALD服务（芬兰beneq机台：8inch/4台）：Al2O3、SiO2、ZnO 、HfO2、ZrO2、In2O3、TiO2、AlN、TiN、Ga2O3、Y2O3、Pt。每炉样品尺寸8inch以内。以上的混合物也都可以做，如HZO、IGZO等。 ◆ ALD服务（芬兰beneq机：12inch/1台）：Al2O3、TiO2，每炉可以12片4inch或者6片8inch。 ◆ CVD服务（日本爱发科大型机台）：SiO2、SiN ，样品尺寸8inch以内。 ◆ 热蒸发：Cu、Ni、Al、Ag、Au，样品尺寸4inch以内。 ◆ 磁控溅射（日本爱发科大型机台）：ITO、IGZO、Mo、Ti、Al 、Au、Pt，样品尺寸6inch以内。 设备优势 ● 采用半导体级双腔体设计，大幅缩短吹扫时间，降低类CVD反应，解决金属形变及析出问题带来的工艺问题 ● 可以针对不同形状的样品定制不同的内腔体实现不同的科研目标 ● 腔体GDU前驱体快速阻断设计提高生长质量 ● 热源采用金属热辐射设计，保证温度的一致性防止管路堵塞 ● 高度开放的recipe，例如泵抽调速或暂停/多喷头模式，适应不同的科研需要，最大权限开放给科研人员 ● 8 inch硅片氧化铝非均匀性0.5%以内 样品性质（必填） 为方便技术团队判断是否可以进行代工服务，提高沟通效率，请您务必复制下方信息，填写后发送至公司邮箱（邮箱见下方特别说明） 1.尺寸（inch/mm） 2.厚度（μm） 3.沉积材质（需镀膜的种类） 4.基底材质 5.样品形状（晶圆/方形片/异形片） 样品提示 ● 对于ALD工艺样品必须彻底清洗干净，需耐温，无毒，无易分解、无易扩散（如Cu），无粉末，禁止用mark笔标记样品！禁止有任何有机物！ ● 样品尽量采用洁净真空双层包装寄送！样品不能有无尘纸等接触表面，不能用双面胶带固定（无法取下），采用硅片盒和自吸附盒子! ● 因样品不耐温或者工艺不兼容导致的样品损坏，卖方不承担任何赔偿责任。样品通过顺丰寄送，建议声明样品总价值保价，保价费由买方承担。 特别说明 ● 提供增值税普通发票，款到开始执行工艺。 ● 如需服务，请发送样品相关信息至邮箱：jenny@atomicald.com ●兼售ALD设备——双腔体喷淋盘式设备，多所高校和研究所已采用，领先业内水准!如需可联系上方邮箱。 ●如有疑问，欢迎致电：17685529658 胡 技术交流 ● TEL：18817872921 丁 上海埃拓米半导体有限公司    |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生
已经有5人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
项目结题验收，希望一切顺利
+1/970
-
急招科研助理/博士后
+2/124
-
[2027 考博] 上海・｜激光焊接 / 增材制造 / 机器人智能装备 招博士
+1/100
-
985高校杰青团队招收推免研究生
+1/100
-
美国肯塔基大学Dr. Sheng Tong博士后招聘（空间可控的基因组编辑与肿瘤免疫治疗）
+1/94
-
天津大学 刘浩业教授团队 招收27级博士生
+1/38
-
山东征女友，坐标济南
+1/36
-
上海大学“生物有机电子材料及器件”团队2027年推免硕士/直博研究生招生
+1/24
-
中科院大连化学物理研究所刘生忠研究员团队招收联合培养博士
+1/22
-
怎么做？让多重免疫组化（mIHC）成为国自然的加分项
+1/17
-
招收2027年-申请考核博士生-仿生材料/生物能源方向
+1/10
-
哈工大赵玉伟教授招聘优秀硕博士生及博后
+1/7
-
【生物材料与生物打印专题征稿】Scopus期刊，免APC
+1/5
-
药物毒理肾损伤相关生物标志物蛋白因子定量检测技术解析
+1/4
-
无人机方向 博士后与青年教师招聘公告
+1/4
-
声场数值模拟与COMSOL有限元水声信号处理：物理信息神经网络PINN与深度学习目标识别
+1/4
-
中国科学院院士成会明招收2027届高分子方向推免直博生（截止2026年9月19日）
+1/3
-
口腔特刊客座招募客编Biofunctional Materials牙科生物功能材料专题，Scopus期刊
+1/3
-
北京理工大学-集成电路与电子学院杰青团队-招博士后
+1/1
-
中国科学院院士成会明招收2027届推免直博生（截止2026年9月19日）
+1/1
2楼2026-09-14 15:38:03
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
 |
3楼2026-09-14 15:57:25
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
|
|
4楼2026-09-14 16:09:24
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
|
|
5楼2026-09-14 16:16:12
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
 |
6楼2026-09-14 16:26:53
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
|
|
7楼2026-09-14 16:43:25
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
|
|
8楼2026-09-14 17:27:56
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
|
|
9楼2026-09-14 17:30:35
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
|
|
10楼2026-09-14 19:58:24
