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Alicat 层流压差质量流量控制器在新型硅碳负极流化床的应用- 艾里卡特（Alicat）
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艾里卡特 (alicat) 是全球知名的质量流量控制器（mass flow controller）及压力测控产品供应商，在上海有本地化生产、维修及技术支持基地（闵行区），可用快速实现本地供货和服务。 欢迎关注公众号“alicat 质量流量计和控制器”  负极材料，作为锂电池重要组成部分，近年来备受关注。硅碳负极材料被广泛认可且具备放大量产的方式为CVD工艺。而利用该工艺生产新型硅碳负极的设备，则是CVD流化床。在该生产工艺中，需要在多孔碳前驱体中，利用硅烷（SiH4）沉积硅原子，再利用乙炔（C2H2）等碳源气体，对中间体进行二次包覆，将其制备成新型硅碳负极材料。 由于该工艺特点，过程中的硅烷较容易与氧气接触发生反应，形成二氧化硅结晶附着在过程管路内壁。也是因为该工艺特点，对控制气体的质量流量控制器有着巨大挑战。传统的热式质量流量控制器（包括毛细管以及直通式），通过气体热特性的方式来计算质量流量，当温度传感器接触面上附着二氧化硅结晶后，可能会致使传感器导热效率下降，流动气体单位时间内传导到传感器的热量下降，最后导致测量值小于实际流通值。当测量值小于实际流通值后，原先设定的气体流量（理想测量值）将小于实际气体通过量。所以在安装有热式流量控制器的流化床上，经常在使用一段时间后，出现尾气中排放多余硅烷发生燃烧的现象。而出现这种现象之后，热式质量流量控制器无法进行快速维修，只能设法更换传感器或报废。若长期使用该原理质量流量控制器，则可能出现毛细管传感器堵塞等现象，而引起更大的安全事故。 Alicat 凭借其层流压差原理及其优异的产品精度，一致性和重复性。广泛受到新型硅碳负极行业内客户的一致认可。Alicat质量流量控制器的层流压差原理通过压差传感器（应变）获得气体在层流状态下前后压力差，再通过绝对压力传感器和温度传感器进行补偿得到气体当前的质量流量。在测量流量的同时，还能够实时监控入口端或出口端的气体压力和温度，让用户在使用流量控制器的过程中，多维度监控整个反应过程。 而传感器表面二氧化硅结晶，对应变传感器本身影响微乎其微。也是由于该特点，让Alicat有着更高的控制稳定性和对二氧化硅结晶更高的耐受度。而Alicat的层流压差传感器的保养和维护也异常轻松，仅需将流量控制器拆开，清洗，校准，即可恢复出厂性能。整个保养过程仅需一天时间。 由于层流差压原理的质量流量测量需要用到多个传感器，多参数测量可以大大提高质量流量测量的重复性（0.2% R.D.±0.02% F.S.），降低温度漂移的影响（±0.02% F.S./℃, from 25℃）。例如，200SLPM氮气的流量控制，在早晚温差20℃的情况下，温度漂移对测量影响仅有±0.8L (200SLPM x ±0.02% x 20℃)。换言之，20℃温度变化对流化态的影响仅有千分之四。 除此之外，针对不同客户不同的环评要求，Alicat还可以提供覆盖0区，1区和2区的防爆产品。以适应客户生产要求。 推荐产品Alicat 带VCR接口的MCR系列质量流量控制器 - 精度：±(0.8%读数 + 0.2%满量程) 可选高精度±(0.4%读数+0.2%满量程)- 量程范围：0.5SCCM-10,000SLPM- 控制范围：1-100%满量程- 重复性：±0.2%满量程- 响应时间：<1ms- 控制响应时间(T63)：快至30ms- 预热时间：<1s  |
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wszyq1985: 回帖置顶 2026-03-21 10:13:20
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Alicat（艾里卡特）可提供高精度、快速控制的气体、液体的质量流量控制器、质量流量计、压力控制器等产品。 联系方式：电邮info-cn@alicat.com、致电 400 920 5760 /+86-21-61519020 欢迎垂询！ |
质量流量控制器、质量流量计（层流差压、热式、科里奥利，可测气体或液体）
上海市闵行区元科路155号18幢三层
联系人: info-cn@alicat.com / 邮箱: info-cn@alicat.com / 电话: 400 920 5760 /+86-21-61519020 / 手机: 400 920 5760 /+86-21-61519020
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