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ALD(芬兰BENEQ 8寸机2台和12寸机一台,具备量产能力:氧化铝,氧化铪,氧化锆,氧化钛,氧化锌,氧化铟,氧化镓、氮化镓、氮化铝,氮化钛以及上面的混合物等
PECVD(日本爱发科8寸机):氧化硅,氮化硅
溅射(日本爱发科8寸机):ITO,Mo,Al,Au,Pt,Ti,Cr等
热蒸发:金,银,铝等
微信: ALDSHARE
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