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ALDscience
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专业ALD高k镀膜,支持Hf/Zr/金属氧化物等功能薄膜批量制备与工艺开发。v: kimusmh
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| 依托成熟的原子层沉积(ALD)工艺平台,面向高校科研团队与企业客户,提供高质量金属氧化物与氮化物薄膜的定制化沉积服务。支持Hf、Zr、Al、Ti、Ta等多种金属体系氧化物(HfO₂、ZrO₂、Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅等)以及氮化物(AlN、TiN、HfN等)制备,满足高k介质层、界面调控层、阻挡层、钝化层及功能电介质应用需求。,薄膜均匀性高、致密性好、界面稳定性优,兼容复杂三维结构与高深宽比器件,支持工艺开发、小批量试制与联合技术攻关。v: kimusmh |
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2楼2026-02-25 05:45:22
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ALDscience(金币+1): 谢谢参与
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3楼2026-02-28 11:56:03
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ALDscience(金币+1): 谢谢参与
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4楼2026-03-01 18:10:29
5楼2026-03-06 20:58:29
6楼2026-03-07 20:04:52
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ALDscience(金币+1): 谢谢参与
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7楼2026-03-13 08:34:42
8楼2026-03-14 00:34:31

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