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双球差电镜(HADDF、EELS、SUPER EDS)、透射电镜(STEM、TEM)、FIB、SEM、GDMS、XPS、ICP-OES、ICP-MS、XRD、半导体相关检测、芯片逆向等
原位压缩、微柱压缩、悬臂梁弯曲(扫描电镜、透射电镜),球差三维重构
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xuhongdaye

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内容

型号:sigma300

关键词:场发射扫描、扫描电镜、SEM、FESEM、扫描

产地:德国蔡司

详细内容:



(1)中文名称:场发射扫描电子显微镜;英文名称:FE-SEM



(2)生产厂商:德国卡尔·蔡司股份公司;型号:Zeiss Sigma 300



(3)主要功能及应用:高分辨率微区形貌分析及成像,结合能谱仪可进行半定量分析;被广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。



(4)主要技术指标:



分辨率:SE:1.0nm(15kV),1.6nm(1kV)



加速电压:20V~30kV,连续可调,每档10 V连续可调,无需模式更换



电子枪:肖特基热场发射电子枪



电子束流:最大束流不小于20 nA



放大倍数:10~1000000 (底片放大倍率),根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准。



样品台移动范围:125 mm(X方向),125 mm(Y方向),50 mm(Z方向),-10°-90°(倾斜),360°(旋转),样品台移动精度:≤2μm



真空系统:样品室真空度:高真空模式优于 2×10-4 Pa;



能谱仪:电制冷牛津40mm2能谱仪



数字图像记录系统:图像储存分辨率:最大32 k×24 k像素,图像显示:1240×768 像素;图像记录:TIFF, BMP或JPEG。



(5)可测试项目:喷金、微观形貌、能谱(点扫、线扫、面扫)



喷金:导电性差、不导电样品需先喷金后测试



形貌:一般取2个位置,共8~10张图片左右



能谱:元素范围Be~U



(6)送样要求:



需提供详细样品信息:样品成分、名称、形态、导电性、拍摄放大倍数/标尺要求、相应的参考图



(7)收费标准联系方式:


按样:100元/个(形貌)
喷金:10元/个
磁性:150元/个
现场:400元/小时(含云视频)

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邮箱:test@tsinghua-wx.org
联系人:
徐宏 博士 13426445751(微信同号)
钟磊 经理 15600909562(微信同号)


赛思实验室
清华大学无锡应用技术研究院
商务部第三代半导体投资联盟智库中心
无锡地址:无锡市滨湖区建筑西路777号A3-101
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至尊木虫 (知名作家)


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2楼2025-02-19 11:06:19
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xuhongdaye(金币+1): 谢谢参与
3楼2025-02-19 11:39:31
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4楼2025-02-19 11:40:36
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5楼2025-02-19 19:02:37
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6楼2025-02-20 00:23:27
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7楼2025-02-20 21:05:08
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8楼2025-02-21 13:43:56
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9楼2025-02-21 16:00:17
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10楼2025-02-24 10:54:36
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