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双球差电镜(HADDF、EELS、SUPER EDS)、透射电镜(STEM、TEM)、FIB、SEM、GDMS、XPS、ICP-OES、ICP-MS、XRD、半导体相关检测、芯片逆向等
原位压缩、微柱压缩、悬臂梁弯曲(扫描电镜、透射电镜),球差三维重构
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