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双球差电镜（HADDF、EELS、SUPER EDS）、透射电镜（STEM、TEM）、FIB、SEM、GDMS、XPS、ICP-OES、ICP-MS、XRD、半导体相关检测、芯片逆向等

原位压缩、微柱压缩、悬臂梁弯曲（扫描电镜、透射电镜），球差三维重构

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