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yongmei6106

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】何为electron-beam lithography?

请问什么是electron-beam lithography?
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bachier

金虫 (职业作家)

电子束曝光

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢回帖。^_^ 9-24 14:59
电子束曝光系统是一种利用电子束在工件面上扫描直接产生图形的装置
2楼2009-09-24 11:15:11
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kealin

金虫 (正式写手)

建议搜索EBL
3楼2009-09-24 11:43:35
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