µçÄÔÒÀÈ»´«²»ÉÏͼƬ£¬´ó¼ÒÏë¿´Ó¢ÎÄÔÎĵÄ˽ÐÅÎÒÓÊÏä²¢·¢ËÍ230307£¬ÈÃÎÒÖªµÀÄãÏëÒªÄÄһƪ
Ò»¶Î»°Á˽âÈ«ÎÄ
P-milling¾ßÓжÀÌصÄÓÅÊÆ£¬µÈÀë×ÓÌåµÄ¿ìËÙ¼ÓÈȺÍÇòÄ¥¶ÔÇ°ÇýÎïµÄ³å»÷Ó¦Á¦Ðͬ×÷Ó㬴ó´ó½µµÍÁËÇ°ÇýÎïµÄºÏ³ÉζȲ¢ÓÐЧµØÌá¸ßÁËAlNµÄºÏ³ÉЧÂÊ¡£´ËÍâ½á¹û±íÃ÷£¬ÓÉAl2O3/CÇ°ÇýÌåºÏ³ÉµÄAlNº¬Á¿¸ß¡£¼´Ê¹¾§Á£³ß´çÏà¶Ô´óÓÚAl2O3Ç°ÇýÌåµÄ¾§Á£³ß´ç£¬Ôڽϵ͵ÄζÈÏÂÒ²ÄÜ»ñµÃ½Ï¸ßµÄת»¯ÂÊ¡£¶øÇÒ£¬ÓÉp-millingAl2O3/CºÏ³ÉµÄAlN·ÛÄ©ÔÚÁ£¶È£¬¿ÅÁ£·Ö²¼ºÍ¾§ÌåÐÎ̬·½Ãæ¾ßÓиüºÃµÄÓÅÔ½ÐÔ¡£
µÈÀë×Ó´¦ÀíÁ÷³Ì
ͼ1 µÈÀë×ÓÇòĥʾÒâͼ
ÔÚ´ËʵÑé²ÉÓõÈÀë×ÓÇòÄ¥(p-milling)ºÍÆÕͨÇòÄ¥(c-milling)¶Ô±ÈʵÑé¡£Óò»Ðâ¸ÖÇò×÷ΪÑÐÄ¥½éÖÊ£¬Ç°ÇýÌåʹÓÃAl2O3ºÍAl2O3/C¡£ÇòÓë·ÛÄ©µÄÖØÁ¿±ÈΪ30£º1¡£ÑÐÄ¥ºó£¬ÔÚÁ¢Ê½Ê¯Ä«Â¯ÖÐÇ°Ìå»ìºÏÎïÔÚÁ÷¶¯µÄN2(1L/min)ÖÐÓÚ1100¨C1600¡æµÄζÈϼÓÈÈ2Сʱ¡£×îºó£¬ÔÚÂí¸¥Â¯ÖгýÈ¥¶àÓàµÄ̼¡£
²ÄÁϱíÕ÷
ͼ2 Al2O3ºÍAl2O3/C·Ö±ðÔÚc-millingºÍp-millingºóÇ°ÌåXÉäÏßÑÜÉäͼ¡£
½öÄܼì²âµ½Al2O3ºÍCµÄÑÜÉä·å¡£ÓëÑÐÄ¥0hµÄAl2O3Ïà±È£¬ÔÚÑÐÄ¥40hºó£¬ÑÜÉä·åµÄÇ¿¶ÈºÍ°ë·åÈ«¿í(FWHM)±äµÃ¸üÈõºÍ¸ü¿í£¬ÔÚÏàͬÌõ¼þÏ£¬Al2O3Ç°ÌåµÄÇ¿¶ÈºÍFWHM¾ù±ÈAl2O3/CµÄÈõ¡£ÇòÄ¥¹ý³ÌÖУ¬Al2O3/CÖÐCÆðµ½Èó»¬×÷Ó㬿ÉÒÔÓÐЧ¼õС»úе³å»÷Á¦£¬¼õ»º¾§Á£Ï¸»¯Ëٶȡ£p-millingÏÂÑÜÉä·åµÄÇ¿¶ÈºÍFWHM¸üµÍ£¬¸ü¿í£¬Æðµ½½øÒ»²½¾«ÖÆÇ°ÇýÌå¡£
ͼ3 Al2O3ºÍAl2O3/CÇ°ÇýÌå·Ö±ðÔÚc-millingºÍp-millingϵľ§Á£³ß´çºÍ¾§¸ñ»û±äÒÔ¼°±È±íÃæ»ý
¾§Á£³ß´çÒÑ´ïµ½ÄÉÃ׿ÅÁ£µÄÁÙ½çÖµ£¬²¢Ëæ×ÅÑÐĥʱ¼äµÄÔö¼Ó¶ø½µµÍÖÁÎÈ̬£¬¶ø¾§¸ñ»û±äºÍ±È±íÃæ»ý¾ùËæÑÐĥʱ¼äµÄÔö¼Ó¶øÔö¼Ó£¬ÓÉÓÚµÈÀë×ÓÌåÐÖú×÷ÓÃp-millingµÄ»û±äЧ¹û´óÓÚc-milling¡£Ò»µ©ÐγÉÄÉÃ×¼¶¾§Á££¬¾Í²»»áͨ¹ýÔö¼ÓÇòĥʱ¼äÀ´Ï¸»¯£¬µ«¿ÉÒÔͨ¹ý¾§½ç»¬¶¯½øÒ»²½±äÐΡ£
ͼ4 ÑÐÄ¥40h SEMÕÕƬ Al2O3Ç°Ìå(a)c-milling (b)p-milling Al2O3/CÇ°Ìå(c)c-milling (d)p-milling
ͼ4ÖÐ(a)(b)·Ö±ð³ÊÏÖÏàͬµÄ²»¹æÔò¿é×´ÍžÛÌ壬ÓÉ200~500nmС¿ÅÁ£¶þ´Î³ÉÐÍ¡£´ËÍ⣬ÔÚͼ4(b)ÖÐÍžÛÌåÁ£¾¶¸üС£¬¿É¼ûÇåÎúµÄÂÖÀª£¬¹â»¬µÄ±íÃæºÍÈÛÈÚ¼£Ï󣬱íÃ÷·ÅµçµÈÀë×ÓÌå²»½ö¶Ô¾§Á£Ï¸»¯£¬Ò»¶¨³Ì¶ÈÉÏÒ²·ÀÖ¹Á˽á¿é×÷Óá£Í¼4(d)ÖУ¬Al2O3/CÇ°ÇýÌå½øÒ»²½Ï¸»¯£¬Al2O3¿ÅÁ£ºÍCÏ໥°ü¹üÔÚÒ»Æð¡£ÓÉÓÚ̼¾ßÓвã×´½á¹¹µÄÌØÕ÷£¬ÇÒ²ãÓë²ãÖ®¼äµÄ½áºÏÁ¦½ÏС£¬Òò´Ë£¬Al2O3¿ÅÁ£½«±»Ì¼¾ùÔÈ°ü¹ü£¬²»½öʹAl2O3ºÍC´¦ÓÚ¸ßÄÜ̬£¬Ò²Ôö¼ÓÁËÓÐЧ½Ó´¥Ãæ»ý£¬Ëõ¶ÌÁËƽ¾ùÀ©É¢Â·¾¶£¬µª»¯ËٶȺÍת»¯Âʶ¼ÓÐËùÌá¸ß¡£
ͼ5 1400¡ãCìÑÉÕºóc-millingºÍp-millingÇ°ÌåµÄXRDͼÆ×(a)Al2O3 (b) Al2O3/C
ͼ5(a)ÖÐp-milling40hʱ£¬½öÓÐAlN¾§ÏàÌØÕ÷·å¡£p-milling¿ÉÒÔÓÐЧµØ´Ù½øAl2O3·Ûĩת»¯ÎªAlN¡£Í¼6(a)ÏÔʾAl2O3/CÇ°ÇýÌåµÄת»¯ÂÊAlN¸ü¸ß¡£
ͼ6 ÈÈ´¦ÀíζȺÍÇòĥʱ¼ä¶ÔAlNת»¯ÂʵÄÓ°Ïì
Al2O3/CÇ°ÌåµÄAlNת»¯ÂÊÔ¶¸ßÓÚÀ´×ÔAl2O3Ç°ÌåµÄAlNת»¯ÂÊÇÒת»¯ËÙÂʸü¿ì¡£ÔÚÔ¼1300¡æÏ£¬p-millingAl2O3/CÇ°ÌåϵÄAlNת»¯ÂÊÒÑ´ïµ½100£¥£¬¶øÔÚp-millingºÍc-millingÔÚ1600¡æAl2O3Ç°ÌåAlNת»¯ÂÊ·Ö±ð½öΪԼ75£¥ºÍ43£¥¡£ÒÔAl2O3/CΪǰÇýÌ壬Çòĥʱ¼äΪ30hÖƱ¸AlNµÄЧÂÊ×î¸ß¡£
ͼ7ÔÚ1400¡æÏÂÓÉp-millingÇ°ÌåºÏ³ÉµÄAlNÄÉÃ×·ÛµÄSEMºÍTEMÕÕƬ(a)(b)Al2O3Ç°Ìå (c)(d)Al2O3/CÇ°Ìå¡£
À´×ÔAl2O3Ç°ÌåÖƱ¸µÄAlN·ÛÄ©ÓÉ700ÖÁ1000nm·¶Î§ÄڵIJ»¾ùÔÈ¿é×´¿ÅÁ£×é³É£¬ÓëTEM·ÖÎö½á¹ûÒ»Ö¡£Al2O3/CÇ°ÇýÌåÖƱ¸µÄAlN·ÛÄ©ÊÇÓÉ·Ö²¼¾ùÔȵÄÇòÐοÅÁ£×é³É£¬Æ½¾ùÁ£¾¶ÔÚ200nmÖÁ300nmÖ®¼ä£¬Á£¾¶Ô¶Ð¡ÓÚÀ´×ÔAl2O3Ç°ÌåµÄAlN·ÛÄ©£¬²¢ÇÒAlN¾§ÌåÐÎ̬ҲҪºÃµÃ¶à¡£
ÔÀí½âÊÍ
¶ÔÓÚp-milling¹ý³Ì£¬Ö÷Òª´æÔÚÒÔÏÂÓ°Ï죺(1)ÇòµÄײ»÷µ¼Ö·ÛÄ©µÄ±äÐΣ¬¶ÏÁѺͺ¸½Ó£»(2)µÈÀë×Ó¼ÓÈÈЧ¹û£»(3)ºä»÷Ôì³ÉµÄѹÁ¦Ð§Ó¦¡£Ä¥ÇòÓëÇ°ÌåÖ®¼äµÄ¸ßËÙÅöײʹǰÌå·¢ÉúÇ¿ÁÒµÄËÜÐÔ±äÐΣ¬¶ÏÁѺÍÀ亸¡£ÁíÒ»·½Ã棬µÈÀë×ÓÌåÔÚÇ°ÇýÎï΢¹Û½á¹¹ÑݱäÖеÄ×÷ÓÿÉÒÔ½«¶ÏÁѵÄAl2O3¿ÅÁ£±íÃæѸËÙ¼ÓÈȵ½¸ü¸ßµÄζȡ£µç×ÓºÍÀë×Ó¸ßËÙÁ÷¶¯£¬ÄÜÁ¿´Ó·ÅµçµÈÀë×ÓÌåײ»÷µ½·ÛÄ©±íÃ棬²¢ÒÔÈȵÄÐÎʽתÒƵ½·ÛÄ©ÖУ¬´Ó¶øµ¼ÖÂζȼ±¾çÉÏÉý²¢²úÉúÈȱ¬Õ¨£¬´Ó¶øÒýÆðÈÛÌåÈÛ»¯ÉõÖÁÆû»¯¡£ÕâÖÖ¿ìËÙµÄÈÛ»¯ºÍÆû»¯½«µ¼ÖÂÇ°ÇýÎﱬը£¬²¢ÇÒ»¹»áÔÚ²»Îȶ¨×´Ì¬ÏÂÔÚ¾§¸ñÖвúÉú´óÁ¿Ô×Ó¡£Òò´Ë£¬p-millingÐͬ×÷ÓõĶÀÌØÓÅÊƽ«ÓÐЧµØ¼ÓËÙºÍÔöÇ¿·ÛÄ©µÄ¼ôÇкͳå»÷Ч¹û£¬Èȱ¬Õ¨ºÍËÜÐÔ±äÐΡ£
½áÂÛ£º
Ñо¿²¢±È½ÏÁËAl2O3ºÍAl2O3/CÇ°ÇýÌåµÄÌØÐÔÒÔ¼°ÏàÓ¦µÄºÏ³ÉAlN¡£ÓëÓÉAl2O3Ç°ÇýÌåºÏ³ÉµÄAlNÏà±È£¬ÓÉAl2O3/CÇ°ÇýÌåºÏ³ÉµÄAlN¾ßÓиü¸ßµÄת»¯ÂÊ£¬²¢ÇÒÔÚÁ£¶È£¬¿ÅÁ£·Ö²¼£¬¾§ÌåÐÎ̬ºÍ±È±íÃæ»ý·½Ãæ¾ßÓиüºÃµÄÓÅÔ½ÐÔ¡£ÓÉÓÚµÈÀë×ӵĿìËÙ¼ÓÈȺͻúеÇòÄ¥µÄ³å»÷Ó¦Á¦£¬¶ÔºÏ³ÉµÄµª»¯ÂÁ¾ßÓжÀÌصÄÓÅÊÆÐͬ×÷Ó㬴ó´ó½µµÍÁËìÑÉÕζȣ¬ÓÐЧµØÌá¸ßÁ˺ϳɵª»¯ÂÁµÄЧÂÊ¡£
ÒÔÉϽá¹ûÀ´×ÔÓÚÓë
Liu Z J , Yang D Z , Wang W C , et al. Effect of Different Precursors on Synthesized Aln by Plasma Assisted Ball Milling[J]. Materials & Manufacturing Processes, 2015:150925174410007. |