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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射自偏压问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】磁控溅射自偏压问题

大家似乎对磁控溅射自偏压问题不是很care
请教大家：他的物理意义是什么？是交流的还是直流的？做实验的时候发现自偏压在开始溅射的时候较大，一会就变小了，为什么？？
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天行健，君子以自强不息～～～～～
1楼 2009-09-15 15:31:06
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cjw796

金虫 (小有名气)
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自溅射？ 没听说过，也没法讨论了。
引用回帖:
Originally posted by yjyang07 at 2009-9-16 17:27:
还有一个问题讨论下：所谓的“自溅射”到底是什么意思？是什么离子溅射到样品上了？为什么？

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9楼2009-09-16 23:10:52
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moxming

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+3):感谢您的交流
自偏压是电子随着射频频率的变化，就像交流电一样，而产生的一个等效电压。等效电压，是换算为直流了的，就像我们日常生活中的220V电压一样，其实它的峰值电压不止220V。
自偏压和靶材，氩氧比，温度，以及工作压强有关吧，LZ可以看看到底是什么原因
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2楼2009-09-15 21:13:21
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cjw796

金虫 (小有名气)
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+3):感谢您的交流
这个说法似乎有点问题，根据我的理解，自偏压是由于电子和Ar+的移动速度不一致而产生的，同样，只有产生了自偏压，溅射才能发生，否则设想你加一个正电压，又加一个负电压，材料被溅射，然后又被反溅射，最后什么也没有。所以自偏压就是在RF电压的基础上施加的一个偏置电压，假如你的RF是从-300V到300V，加一个200V的偏压之后就是从-100V到500V。自偏压当然是直流了。
这一点楼上说得没错，自偏压和靶材，氩氧比，温度，以及工作压力有关，是一个无法单独调节的量。
至于你的自偏压随着溅射的改变而改变，这可能是溅射过程中一些其他参数不稳定造成的。
引用回帖:
Originally posted by moxming at 2009-9-15 21:13:
自偏压是电子随着射频频率的变化，就像交流电一样，而产生的一个等效电压。等效电压，是换算为直流了的，就像我们日常生活中的220V电压一样，其实它的峰值电压不止220V。
自偏压和靶材，氩氧比，温度，以及工作压 ...

[ Last edited by cjw796 on 2009-9-15 at 23:04 ]
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3楼2009-09-15 23:01:55
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yjyang07

木虫 (著名写手)
Thank you for meaningful discussions~~
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天行健，君子以自强不息～～～～～
4楼2009-09-16 08:18:59
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