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【讨论】溶胶凝胶法制备ITO 和 AZO 光电薄膜的前景如何?
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wangjiawei2807
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【讨论】溶胶凝胶法制备ITO 和 AZO 光电薄膜的前景如何?
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1楼
2009-09-01 11:42:47
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majieyuan
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专业: 半导体材料
还有其它的问题,所以要是在生产线上用sol-gel做ITO可能还有一段路要走
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5楼
2009-09-07 11:30:53
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天外飞仙5388
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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小木虫(金币
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):给个红包,谢谢回帖交流
AZO还是很有前景.SOl-gel做出来的结果要求电阻率小,难度不小.祝好运!
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2楼
2009-09-01 15:39:47
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wangjiawei2807
木虫
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活雷锋
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虫号: 761540
注册: 2009-05-02
专业: 无机非金属类光电信息与功
此言正确,小面积好做到,但大面积的难度就大了,主要是均匀性。
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3楼
2009-09-02 09:16:39
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majieyuan
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专业: 半导体材料
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
Sol-Gel方法是和廉价,但是用于做ITO存在以下几个问题:
1. Sol在配制过程中,稳定性不是很好,要求环境条件高
2. 成膜面积小、厚度小(从而导致方阻等性能参数调节范围很小)
3.成膜后热处理过程中容易失Pb,成分不会很准确的,而且薄膜容易开裂
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4楼
2009-09-07 11:29:40
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