应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜
61/1返回列表
查看: 393  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 lalahulala 的 3 个金币

lalahulala

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜

我用浓硫酸、双氧水加热处理单晶硅片几个小时后跟原片电阻率没什么区别呀。什么方法能够得到较厚的SiO2层
另外，热氧化法我还没试，做过的xdjm指点一下，多谢了
还有就是我想在玻璃或是硅片上旋转涂膜，不知道用什么溶剂润湿性好，涂出来的膜均匀
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2009-08-24 20:03:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wqnow

木虫 (正式写手)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，我想在硅片上弄一层较厚的SiO2，使其变为绝缘体，旋涂有机前躯体溶液，热解得到导电的氧化物半导体膜 8-25 08:54
PECVD可以得到几百纳米到微米级的SiO2膜
热氧化法速度特别慢，另外需要能烧到1100～1300℃的炉子，并且能通氧气（最好和水蒸气一起通速度才比较快）
说说你要涂什么膜吧

[ Last edited by wqnow on 2009-8-24 at 23:33 ]
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2009-08-24 23:31:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

snow0122wh

木虫 (小有名气)
1.有听说用氢氟酸和双氧水腐蚀的。
2.是用溶胶凝胶法涂膜吗？可以用乙醇溶剂。
赞一下 回复此楼
人生若只如初见
3楼2009-08-25 09:41:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wqnow

木虫 (正式写手)
PECVD可以，如果在北京的话清华可以做。
没做过半导体膜，文献上应该有吧。
赞一下 回复此楼
4楼2009-08-28 21:10:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zeusshang

金虫 (小有名气)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，我已在干氧气氛下氧化了，1000度，150nm厚的SiO2层。我的前躯体极性较大，你说的溶剂可能溶不了。另外，你们的光刻胶浓度大概有多大，是不是配出来的溶液很浓，比较粘，这样利于旋涂。 8-31 08:51
氧化硅的片子直接买点吧，2，3百买一片四寸的，做化学实验的话可以用很久了。
没有高温想要得到绝缘性能高的氧化物膜不太现实，绝缘性能好不好关键是看用什么方法来制备，膜的厚度并不是主要的因素。
旋涂的话大部分有机溶剂的效果都还不错，二甲苯，氯苯，氯仿等我们都用来配过光刻胶，涂出来效果都挺好的。
赞一下(1人) 回复此楼
微纳加工
5楼2009-08-30 22:09:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zeusshang

金虫 (小有名气)
浓度不是很大，用来配PMMA什么的，5%左右吧，涂出来几百纳米。
对于极性还真没有考虑过。
赞一下 回复此楼
微纳加工
6楼2009-09-01 20:41:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lalahulala 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭