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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 关于 ITO 溅射靶材你需要知道的一切
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溅射靶材

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[交流] 关于 ITO 溅射靶材你需要知道的一切已有8人参与

ITO的全称是氧化铟锡，是由不同比例的铟、锡和氧组成的。ITO和ITO溅射靶的物质是一样的，后者实际上是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合形成的黑灰色陶瓷半导体。


ITO溅射靶材的制作方法
目前，制备ITO靶材的成型方法主要有四种，每种方法在具体应用中各有优势。



真空热压
真空热压利用热能和机械能对ITO粉体进行致密化，可生产出密度为91%～96%的高密度ITO陶瓷靶材。该方法可以轻松获得接近预期密度且孔隙率接近于零的ITO靶材。但受设备和模具尺寸的限制，真空热压在制备大尺寸溅射靶材方面优势较小。

热等静压
热等静压 (HIP)通过在压力下烧结或在高温下加压来制备ITO 溅射靶。与真空热压类似，HIP在加热和加压状态下可以获得高密度（几乎是理论密度）和优异的物理和机械性能的产品。但也受设备压力和气缸尺寸的限制。



常温烧结
室温烧结是先通过浆料浇注或预压制备高密度靶材预制件，然后在一定气氛和温度下烧结得到ITO靶材。其最大的优势在于能够生产大尺寸的溅射靶材。但与其他烧结方法相比，这种方法制成的靶材纯度较低。

冷等静压
冷等静压（CIP）在常温下以橡胶或塑料为覆模材料，以液体为压力介质传递超高压。CIP还可以制备更大尺寸的ITO溅射靶材。而且价格便宜，适合大批量生产。但CIP要求材料在0.1~0.9 MPa的纯氧环境中经过1500~1600°C的高温烧结，具有较高的风险。



ITO靶材、ITO薄膜、ITO导电玻璃
这三个词是相互关联的。简而言之，ITO导电玻璃是通过溅射或蒸发在一块超薄玻璃上镀上一层ITO薄膜制成的。这里，ITO靶是提供氧化铟锡原子的源；当这些氧化铟锡原子沉积在基板（玻璃）上时得到ITO薄膜，涂有ITO薄膜的玻璃称为ITO导电玻璃。



ITO薄膜  



ITO 溅射靶材应用

ITO溅射靶材及其衍生品如ITO薄膜、ITO玻璃等，在各行各业有着广泛的应用。ITO靶材常用于制造液晶显示器（LCD）、平板显示器、等离子显示器和触控面板等显示器的透明导电涂层。ITO薄膜用于有机发光二极管、太阳能电池和抗静电涂层。除了电子工业，ITO 靶材还用于各种光学镀膜，最著名的是红外反射镀膜和汽车用钠蒸汽灯玻璃。



发展趋势
ITO靶材的未来是繁荣的，但仍有一些困难需要克服。ITO靶材 的发展趋势可以归纳为四点：
1）大尺寸；
2) 电阻率低；
3) 高密度和；
4）利用率高。

第4点一直是该领域的热点和难点之一。目前，平面靶材由于具有结构简单、通用性强、均匀性好等多重优势，仍然在溅射镀膜行业占据主导地位。但平面靶材利用率低。近来，溅射靶材制造商正在积极研发一种新型的溅射靶材（如旋转靶材），以实现高利用率。
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1楼2021-06-18 13:16:51
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纳米粉专家

新虫 (初入文坛)
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4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2021-07-15 10:26:33
求教大神，现在普遍国内ITO靶性能还是比不上国外ITO靶，尤其高端行业的，国内基本都打不进去。

1. ITO靶或者膜层的性能区别在哪里？具体表现在哪几方面？
2. 差距在制造设备上，还是工艺流程上，还是哪里？
3. ...

层主对ITO现状的了解可能落伍了。先做国内ITO做的已经很不错了，这种先进的技术，不在于有多难突破，而是要有下游产业结合着不断的去尝试，去试错。 国内ITO在面积和性能上，用在京东方，华星进行进口替代已经没问题了。  俺们研究国内的氧化锡，氧化铟等纳米粉末已经二十余年，现在生产的粉体基本达到英国KK公司的性能，甚至个别替代别他们还优秀。如果有同行沟通的，我电话是  王  18800775850
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5楼2021-08-30 16:59:00
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sno2mater

铁虫 (小有名气)
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这位仁兄的文献综述已经严重过时了。目前都是CIP的氧气气氛烧结工艺。宁波今心新材料科技有限公司张建荣博士专注二氧化锡，ITO，ATO纳米粉体研发、生产22年。
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以二氧化锡纳米粉体为具体研究对象的纳米粉体制备、产业化技术，纳米粉体，纳米陶瓷，纳米分散，纳米功能材料。
8楼2021-12-15 20:18:39
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happyever83

禁虫 (职业作家)
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2楼2021-06-18 16:31:28
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sciencetechn

新虫 (小有名气)
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北京金源新材科技有限公司能提供高致密度高导电的ITO靶材。降低电阻率和提高利用率，是ITO领域需要持续发力的重点。降低电阻率可在技术领域提高产品性能，提高利用率能大大节省成本，提高产品竞争力。
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），金源新材
3楼2021-07-12 12:15:31
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
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求教大神，现在普遍国内ITO靶性能还是比不上国外ITO靶，尤其高端行业的，国内基本都打不进去。

1. ITO靶或者膜层的性能区别在哪里？具体表现在哪几方面？
2. 差距在制造设备上，还是工艺流程上，还是哪里？
3. 您认为我们国内大概多久能从性能和市场上打败他们？
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2021-07-15 10:26:33
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纳米粉专家

新虫 (初入文坛)
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国内ITO做的已经很不错了，这种先进的技术，不在于有多难突破，而是要有下游产业结合着不断的去尝试，去试错。 国内ITO在面积和性能上，用在京东方，华星进行进口替代已经没问题了。  俺们研究国内的氧化锡，氧化铟等纳米粉末已经二十余年，现在生产的粉体基本达到英国KK公司的性能，甚至个别替代别他们还优秀。如果有同行沟通的，我电话是  王  18800775850
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6楼2021-08-30 17:02:02
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)
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5楼: Originally posted by 纳米粉专家 at 2021-08-30 12:59:00
层主对ITO现状的了解可能落伍了。先做国内ITO做的已经很不错了，这种先进的技术，不在于有多难突破，而是要有下游产业结合着不断的去尝试，去试错。 国内ITO在面积和性能上，用在京东方，华星进行进口替代已经没问 ...

你们现在能做几代线的ITO？99%的相对密度的单片ITO面积能做多大？
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7楼2021-10-22 09:33:59
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sno2mater

铁虫 (小有名气)
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7楼: Originally posted by 小米0锅巴 at 2021-10-22 09:33:59
你们现在能做几代线的ITO？99%的相对密度的单片ITO面积能做多大？...

目前国内以壹纳、晶联为代表的自主开发ITO靶材（晶联的初始技术有壹纳前身西格玛的影子），以及先导、映日等为代表的引进技术。纵向10年看进步非常大。和日本住矿、三井的差距再于基本原理的认识、烧结气氛机理的理解、制成批次稳定性等方面都有差距。目前韩国已经放弃ITO靶材产业（韩国以三星为首的ITO靶材产业也是学习、借鉴日本技术），所以国内迎来ITO靶材投资的小热潮。
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以二氧化锡纳米粉体为具体研究对象的纳米粉体制备、产业化技术，纳米粉体，纳米陶瓷，纳米分散，纳米功能材料。
9楼2021-12-15 20:25:15
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libin1987

金虫 (著名写手)
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5楼: Originally posted by 纳米粉专家 at 2021-08-30 16:59:00
层主对ITO现状的了解可能落伍了。先做国内ITO做的已经很不错了，这种先进的技术，不在于有多难突破，而是要有下游产业结合着不断的去尝试，去试错。 国内ITO在面积和性能上，用在京东方，华星进行进口替代已经没问 ...

先别吹，不可否认国内ITO进步了，但是局限在小尺寸、低端方面，大尺寸和高端的还是日韩，这个必须得承认，要追上还得有几年。
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10楼2022-08-18 15:26:21
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