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xmuxiaoyu

金虫 (著名写手)


[交流] 【请教】请教电镜高手

今日去做实验,发现电镜发生嘟嘟嘟的报警声,真空度很差。我关了之后想再重开,开了几分钟,开始还正常,真空室能到达一定的真空度,谁知道又突然间关了,报警声又再出现。大家觉得这有可能是由于冷却系统的问题吗?除了这个我想不到其他原因。还有我的电镜型号是日立S570.
希望大家给点意见。
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buxiboat

铁杆木虫 (正式写手)

游击队队长

★ ★
wdwsnnu(金币+1,VIP+0): 7-27 15:06
xmuxiaoyu(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 7-27 15:36
我感觉是真空系统除了问题,真空度不能保持。建议还是请日立专业维修人员来检查下吧
为啥要签名呢?
5楼2009-07-27 14:40:15
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匿名

★ ★
wdwsnnu(金币+0,VIP+0): 7-27 15:06
wdwsnnu(金币+1,VIP+0): 7-27 15:06
xmuxiaoyu(金币+1,VIP+0):谢谢,不过我没放样品在里面,之前好好的,不知道为什么昨天突然有问题 7-27 15:35
本帖仅楼主可见
2楼2009-07-27 06:44:03
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liuruiphd

木虫 (著名写手)


xmuxiaoyu(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 7-27 15:36
电压会掉下来吗。
3楼2009-07-27 13:35:26
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temedx

专家顾问 (著名写手)

★ ★
wdwsnnu(金币+1,VIP+0): 7-27 15:06
xmuxiaoyu(金币+1,VIP+0):谢谢 7-27 15:36
没用过这种型号的SEM,建议联系日立的工程师才好。
给一个自己猜测:机械泵和次级真空泵出了问题,真空无法抽。另外一个可能:控制次级真空泵的低压电源出了问题。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
4楼2009-07-27 13:41:09
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